高精度轮廓仪是一种用于非接触或接触式测量物体表面微观形貌、几何轮廓及关键尺寸的精密检测设备,广泛应用于精密制造、光学元件、半导体、汽车零部件、航空航天、模具加工及科研实验室等领域。其核心功能是获取被测工件表面在微米甚至纳米级的三维形貌数据,为产品质量控制、工艺优化和失效分析提供高可靠性依据。
其通常集成高稳定性花岗岩基座、精密导轨、高分辨率传感器及智能图像处理软件,支持自动对焦、多区域拼接、3D重建、粗糙度(如Ra、Rz)、波纹度、台阶高度、曲率半径等参数的自动计算,并符合ISO 4287、ISO 25178等国际标准。部分设备还具备环境温控、防震设计及AI辅助分析功能,确保在复杂工况下仍保持z越重复性和准确性。
一、日常清洁与防污
外壳清洁
使用软布蘸取少量清水或中性清洁剂,轻擦仪器外壳,避免使用含苯、稀释剂等腐蚀性清洁剂,防止涂装褪色或剥落。
顽固污渍可用拧干的软布蘸稀释中性清洁剂擦拭,再用干布擦干。
关键部件清洁
探针/测头:定期用无水乙醇和软毛刷轻拭表面油污,避免用力按压导致变形或损坏。
导轨/传动部件:用无尘布或软毛刷清理灰尘、碎屑,防止划伤导轨;定期涂抹专用润滑脂(如锂基脂),减少磨损和生锈风险。
光学元件(如激光头、物镜):使用专用吹气球或氮气吹尘枪清洁表面,顽固污渍需用指定镜头纸和清洁剂轻擦,避免划伤。
样品台清洁
确保样品台平整、无划痕或污渍,定期清洁以避免影响测量结果。
二、环境控制
温湿度管理
保持工作环境温度稳定(如20±2℃),湿度控制在40%-60%,避免温度波动导致光学元件或样品热胀冷缩,影响测量精度。
高精度设备(如光学轮廓仪)建议放置在恒温恒湿的洁净室中。
防尘防潮
避免仪器暴露在粉尘、油雾或潮湿环境中,长期不用时需断电并覆盖防尘罩。
仓库或保管室需通风、干燥,配备除湿装置,防止仪器“生霉”“生雾”。
防震防碰撞
搬运时固定运动部件,轻拿轻放,避免振动或碰撞损坏精密结构。
作业中暂停使用的电子仪器,每周至少通电1小时,保持各功能正常运转。
三、部件维护与更换
耗材管理
定期检查并更换探针、测头等易损件,避免磨损影响测量精度。
使用原厂配件,确保兼容性和性能稳定性。
金属部件防锈
用防锈油擦拭暴露的金属表面(如夹具、支架),外业仪器每6个月更换一次防锈油脂。
电气系统检查
定期检查电源线、信号线等连接是否牢固,电气元件是否有松动或损坏现象,确保安全。
保险丝更换
关闭控制箱电源,拔出电源线,用螺丝刀取出保险丝座盖并拆除旧保险丝,安装新保险丝(额定值需匹配,如250V,5A),再盖好座盖并连接电源。
四、校准与精度验证
定期校准
根据使用频率和环境条件,每月至少校准一次仪器。使用标准块(如球型或台阶块)验证精度,记录偏差值并调整参数。
高精度设备(如光学轮廓仪)需按厂家推荐周期,使用标准样板对垂直和横向尺度进行校准。
测力检测(如三丰轮廓仪)
使用压力表检测探针压力,确保在25mN-30mN范围内,超出时需调节探针尾部砝码。
